半导体等电子工业监测站解决方案

背景(jing)概述

半导体/电(dian)子(zi)工(gong)业是我(wo)国重点扶持和(he)(he)发展的(de)领(ling)域，在生态环(huan)境(jing)(jing)保护方(fang)面，半导体(ti)(ti)/电(dian)子(zi)工(gong)业制(zhi)(zhi)造(zao)(zao)厂也在加大(da)投入污染治理和(he)(he)污染物在线(xian)监(jian)(jian)控，以(yi)降低对生态环(huan)境(jing)(jing)和(he)(he)居民的(de)影响。然而(er)，半导体(ti)(ti)/电(dian)子(zi)工(gong)业制(zhi)(zhi)造(zao)(zao)厂的(de)废气／烟(yan)气排放(fang)烟(yan)囱(cong)很多(duo)(duo)，有酸(suan)性排口(kou)，碱性排口(kou)（NH3）和(he)(he)VOCs排口(kou)，每个(ge)Fab厂都有十到(dao)几(ji)十个(ge)烟(yan)囱(cong)排口(kou)，而(er)且(qie)酸(suan)性气体(ti)(ti)多(duo)(duo)（HCl、HF、Cl2、H2SO4等(deng)）和(he)(he)VOCs种(zhong)类多(duo)(duo)（非甲(jia)烷总烃(ting)、苯(ben)、甲(jia)苯(ben)、二甲(jia)苯(ben)、甲(jia)醛、三氯(lv)乙烯等(deng)），要(yao)对每个(ge)烟(yan)囱(cong)排口(kou)进行在线(xian)监(jian)(jian)测(ce)，就需要(yao)综合考虑国际上先进的(de)监(jian)(jian)测(ce)技术(shu)和(he)(he)建设经(jing)济效(xiao)益，选择最(zui)优(you)的(de)解决方(fang)案(an)。

行业类型(xing)：半导体等电子工业(ye)

主要监测因(yin)子：NH3、HCl、HF、Cl2、H2SO4、非甲(jia)烷总烃、苯、甲(jia)苯、二甲(jia)苯、甲(jia)醛、三氯乙烯等(deng)。

解决方案概述：博测环境提供的整体(ti)解决方案是采(cai)用非接触式差分(fen)吸(xi)收光谱法(fa)（DOAS），使用一条光路贯(guan)穿整个(ge)管道。光束通过(guo)光纤传输到分(fen)析仪(yi)(yi)，而这个(ge)分(fen)析仪(yi)(yi)又(you)同时监测几(ji)个(ge)路径。满足同时监测全部排口，多种(zhong)因子(zi)，包括了酸(suan)性(xing)气体、碱(jian)性(xing)气体和VOCs气体。该方(fang)案采用了先(xian)进的光谱法(fa)(fa)（UV/IR）监测酸(suan)碱(jian)气体和气相色(se)谱法(fa)(fa)（GC-FID）监测VOCs气体。如下(xia)图：

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